产品优势/ Product advantages
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等离子体流动控制设备 产品介绍
LFIX系列气流控制系统由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成,它利用流动的流体不同的流量效应而制成,其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量,并分别控制各自气体的流量,进入混合器进行精密混合,将混合后的气体按需输出给用气点,同时设备自带多种测量原件对气体进行检测,保证混合的..性。
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产品用途
广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.
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产品特点
气流控制系统能准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,为半导体设备提供氮气控制及氮气温度的控制测量,保证半导体设备能够正常运行。